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机译:多晶硅薄膜热扩散率的原位测试
Yi-Fan Gu; Zai-Fa Zhou; Chao Sun; Wei-Hua Li; Qing-An Huang;
机译:利用微旋转结构原位测定多晶硅薄膜的热膨胀系数
机译:一种测量表面微机械加工的多晶硅薄膜的热扩散率的简单方法
机译:一种测量多晶硅薄膜热导率的新测试结构
机译:用于有源矩阵液晶显示器的低热预算多晶硅薄膜晶体管技术。
机译:基于人脚轮形热致动器的测试结构设计,用于原位测量MEMS薄膜断裂强度的测量
机译:非接触单端脉冲激光诱导热辐射测量薄膜的热扩散系数
机译:通过原位工艺对多晶硅膜,氧化膜和多晶硅膜进行多层薄膜蚀刻的方法
机译:在多晶硅阵列基体上测试多晶硅薄膜电阻的方法
机译:薄膜晶体管阵列基板,低温多晶硅薄膜晶体管以及制造低温多晶硅薄膜晶体管的方法
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